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微波等離子清洗機(jī) AMP-20SA
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微波等離子清洗機(jī) AMP-20SA

高密度平面型等離子系統(tǒng)(可支持自動在線生產(chǎn)),主要用于IC、IGBT、光電、MEMS等器件封裝過程中的清洗,以提高焊接和粘接質(zhì)量,也可用于光刻膠去除、聚合物表面活化等應(yīng)用。

AMP-20SA 能夠高效的去除材料表面有機(jī)污染物以及自然氧化層,活化材料表面,提高粘接、焊接的質(zhì)量,且不會對物料造成物理轟擊損傷,也可用于光刻膠去除、聚合物表面活化等應(yīng)用。


等離子激發(fā)頻率

2.45GHz

等離子激發(fā)功率

100-2000W

工藝腔室材質(zhì)

鋁合金 6061

工藝腔室內(nèi)部尺寸

370mm x 深560mm x 高110mm

工藝氣路

(標(biāo)配) 2條工藝氣路, 不銹鋼拋光管路及管接頭, 每條氣路配質(zhì)量流量計(jì)精確控制

適用的工藝氣體

O2, Ar, Ar/H2, N2, N2/H2CF4

真空泵

雙級旋片真空泵或無油干泵,抽速 60m3/h

控制系統(tǒng)

Windows觸摸屏工控機(jī)+PLC控制,持手動操作和自動操作,工藝配方程序編輯/存儲/運(yùn)行,工藝數(shù)據(jù)自動記錄和顯示

設(shè)備外形尺寸及重量

920mm x 深1300mm x 高1800mm(不含三色燈),500kg(含泵)

供電要求

AC380V 3P+N+PE, 5.5KW(含真空泵) ,50Hz


【產(chǎn)品特點(diǎn)】

高密度等離子體

無物理損傷

超短清洗時間

強(qiáng)效去氧化作用

高均勻性清洗效果

支持自動化生產(chǎn)(可選)


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