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微波等離子清洗機 MWD-80
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微波等離子清洗機 MWD-80

微波等離子清洗技術具備無損傷、效率高、無電極濺射污染等諸多特點,能夠徹底清潔和處理材料表面的污染物,尤其適合敏感芯片的封裝清洗。

MWD-80是一款全功能型立柜等離子清洗機,主要用于材料表面微觀凈化、活化、改性、去氧化、刻蝕、去膠等處理,具有高效和無損傷的特點,適合于批量生產領域。


腔體內部尺寸

W400×H495×D435mm

微波功率

2.45 GHz,100-1000W可調(更高功率可選)

工藝氣路

標準2路,包括質量流量計和控制電磁閥等

真空規

Pirani真空計或電容式薄膜壓力規

控制系統

觸摸屏工控機+PLC控制

真空

雙級旋片式真空泵或無油干泵

工作臺

直徑340mm,可旋轉

電源

220/380V,50/60Hz,4.5KW 含真空泵

外形尺寸

W875×H1900×D1050mm

主要應用

材料表面有機污染物去除、表面活化、氧化物還原、光刻膠底膜去除以及表面聚合涂層等


【配置選項】

真空系統、額外工藝氣路、物料工件旋轉臺、清洗擱架、頂/側裝微波源、軟啟動和慢速充氣、法拉第網、推拉門/鉸鏈門


【產品特點】

無損傷清洗、完美兼顧物理和化學清洗方式、超潔凈清洗效果、優秀的去氧化清洗能力、工藝溫度低




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