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微波等離子清洗機(jī) MWD-12
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微波等離子清洗機(jī) MWD-12

微波等離子清洗技術(shù)具備無損傷、效率高、無電極濺射污染等諸多特點(diǎn),能夠徹底清潔和處理材料表面的污染物,尤其適合敏感芯片的封裝清洗。

MWD-12是一款高效桌上型微波等離子清洗機(jī),主要用于材料表面微觀凈化、活化、改性、去氧化、去膠等處理,具有高效和無損傷的特點(diǎn),適合于研發(fā)、小批量生產(chǎn)領(lǐng)域。


腔體內(nèi)部尺寸

W225×H225×D225mm

微波功率

2.45 GHz,100-500W可調(diào)

工藝氣路

標(biāo)準(zhǔn)2路,包括質(zhì)量流量計(jì)和控制電磁閥等

真空規(guī)

Pirani真空計(jì)

控制系統(tǒng)

PLC+觸摸屏控制

真空

雙級(jí)旋片式真空泵或無油干泵

電源

380V,50/60Hz,3.3KW 含真空泵

外形尺寸

W900×H645×D720mm

主要應(yīng)用

材料表面有機(jī)污染物去除、表面活化、氧化物還原、光刻膠底膜去除以及表面聚合涂層等


【配置選項(xiàng)】

真空系統(tǒng)、額外工藝氣路、清洗擱架、頂/側(cè)裝微波源、軟啟動(dòng)和慢速充氣、法拉第網(wǎng)、其它定制選件


【產(chǎn)品特點(diǎn)】

無損傷清洗、完美兼顧物理和化學(xué)清洗方式、超潔凈清洗效果、優(yōu)秀的去氧化清洗能力、工藝溫度低

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